DIN EN 62047-5-2012 半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关(IEC62047-5-2011).德文版本EN62047-5-2011

作者:标准资料网 时间:2024-05-20 14:39:09  浏览:9184   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part5:RFMEMSswitches(IEC62047-5:2011);GermanversionEN62047-5:2011
【原文标准名称】:半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关(IEC62047-5-2011).德文版本EN62047-5-2011
【标准号】:DINEN62047-5-2012
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2012-03
【实施或试行日期】:2012-03-01
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Applications;Characteristics;Components;Definitions;Electricalengineering;Highfrequencies;Layers;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Semiconductordevices;Switches;Systemengineering;Testing;Testingconditions
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:37P;A4
【正文语种】:德语